Halbleiter-Forschung

Atomar saubere Chips

03. Juni 2002

Den Wissenschaftlern der Bell Labs in New Jersey ist es gelungen, eine einzelne Verunreinigung eines Silizium-Halbleiters auf atomarer Ebene sichtbar werden zu lassen. "Das ist ungefähr so schwierig, wie einen Fußabdruck auf dem Mond von der Erde aus erkennbar zu machen", so die Forscher. Das neue Verfahren, bei dem ein spezielles Elektronenmikroskop zum Einsatz kommt, sei ein bedeutender Schritt zum Verständnis der exakten Funktionsweise von Halbleitern und bringe entscheidende Fortschritte bei der Entwicklung neuer Chip-Generationen.

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